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伺服系统 气浮平台系列
气浮平台系列
高性能直驱气浮平台，拥有高动态性能与纳米级定位精度。通过直线电机驱动，结合正负压设计，有效应对概略积负载在气浮导轨上的重力不均匀分部，可以更好地保证空气导轨的正常气隙
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产物特点
定制化需求
可凭据客户需求进行评估定制
气浮直驱
利用空气弹性势能作为支撑导轨，实现滑轨与滑台零摩擦、减少误差
高精度定位
具备非常优秀的动态性能、定位精度、速度稳定性和高分辨率
应用领域
大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装、丈量检测、生物样片加工及视察、同步加速研究、精密制造、光学对
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直为高精度定位平台产物
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2022-11-01
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